阻抗分析仪的测量精度受到以下因素的影响：

　　1.电极电容：电极电容是电极本身的电容和电极与测量样品之间的电容。当电极电容很大时，会影响测量电阻和电抗的精度。

　　2.电源噪声：电源噪声指的是测量电路中的噪声，可以由电源本身或测量系统的其他元件引起。电源噪声会使测量信号出现误差，降低测量精度。

　　3.信号滤波：为了减少测量信号中的噪声干扰，通常需要使用滤波器对信号进行滤波。但是，如果滤波器的带宽不合适或者设置不正确，也会导致测量精度降低。

　　4.温度变化：温度变化会影响电极和样品的电阻和电容，进而影响阻抗分析仪的测量精度。为了减少温度的影响，通常需要对仪器进行温度补偿。

　　5.采样率：采样率是指在一定时间内对信号进行采样的次数，采样率过低会导致信号失真，降低测量精度。

　　6.校准：阻抗分析仪的校准也会影响测量精度。校准不当或者校准不及时会导致仪器出现漂移或误差，进而影响测量结果的准确性。

　　综上所述，阻抗分析仪的测量精度受到多种因素的影响，需要在使用仪器前对这些因素进行充分的考虑和控制，以保证测量结果的准确性和精度。